Caracterización de materiales

Espectroscopía de electrones

XPS y Auger

XPS = X-ray photoelectron spectroscopy

ESCA = Electron spectroscopy for chemical analysis

Efecto fotoeléctrico de un electrón de conducción:

Instrumentación

hEk

Región analizada

UHV = vacío ultra alto

10

AES = Auger electron spectroscopy

1s

ISS = Ion scattering spectroscopy

LEIS = Low energy ion scattering