Formación sobre la manipulación de un profilómetro

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2,5 μ

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Training about profilometry developed at Institut des Matériaux Jean Rouxel (Nantes, France) during 2013. Basic work principles.

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Formación sobre la manipulación de un pro�lómetro

Javier García Molleja

Institut des Matériaux Jean Rouxel

Se utiliza un dispositivo DEKTAK 8 en los estudios de pro�lometría.Dicho dispositivo carga y descarga las muestras. Está en una mesa absorbente de

vibraciones y dentro de una carcasa para evitar el paso de viento. En primer lugar, lasmuestras tienen que limpiarse mediante ultrasonidos usando un dispositivo BIOBLOCKScienti�c con etanol como medio líquido durante 15 minutos. Antes de colocar las muestrastienen que volver a limpiarse usando agua destilada y secándolas con aire comprimido.

Tras esto la punta del pro�lómetro puede acercarse o retirarse de la muestra a analizarhasta que haya un contacto. Existen dos cámaras para localizar las probetas. De maneraexcepcional puede cambiarse la punta del pro�lómetro para conseguir mayores detallesde rugosidad puesto que el radio de curvatura de la punta es mucho menor. Sin embargo,por defecto existe una punta instalada que permite obtener sin mucho error la altura delas imperfecciones y se puede determinar el radio de curvatura de la muestra. El recorridosiempre es el mismo: desde adelante hacia atrás, por lo que es necesario colocar la muestrade tal manera que pueda medir las características de interés. En nuestro caso se puedenmarcar con tinta indeleble los sustratos y la deposición cubrirá a la zona. Este lugarquedará vacío tras la limpieza ultrasónica con etanol.

En el software tiene que indicarse cuál es el punto de comienzo y determinar el punto�nal del recorrido. Mediante la cámara apropiada puede veri�carse la ausencia de elemen-tos que puedan adherirse a la punta o incluso romperla. Determinando el radio de la punta(normalmente de radio 2,5 µm y 90o entre caras) e indicando la fuerza que se va a aplicar(se tiene que a mayor carga aplicada la resolución mejora, pero hace que el sistema seamás frágil ante un imprevisto como una grieta o una acumulación de escombros, de ahíque siempre usemos una carga de 3 mg) se puede hacer la medición a velocidad constante.Para preparar el sistema de retroalimentación hay que indicar qué escala se espera entreel valle y la cresta en la muestra.

Una vez hecha la medición aparecerá el diagrama de rugosidad. Existen dos cursores,M y R, que pueden aumentar su anchura. Han de cubrir al comienzo una zona de rugosi-dad parecida para promediar y colocándolos en la región que suponemos al mismo nivel(por ejemplo, en el sustrato) se puede calibrar y suavizar el per�l. Tras esto, y dejando�jo el cursor R, puede moverse el M hacia cualquier punto de la película depositada. Me-

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diante el botón F12 se determina la altura, por lo que promediando en varios lugares yrepitiendo todo para varias zonas de la probeta puede conocerse el espesor de la muestra.Independientemente, el software declarará algunos valores de interés, entre ellos la raízcuadrática media de la rugosidad e incluso el radio de curvatura con el botón F11 (hayque colocar a M y R en los extremos más separados).

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