Manual de deposición de películas delgadas por evaporación
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Instructivo para deposición de Películas delgadas utilizando el Sistema Evaporador del laboratorio de Películas delgadas. 2 bombas: Rotatoria: ~10 -2 torr Difusión: ~10 -5 torr 3 válvulas: a) comunica la campana con el exterior. b) comunica la bomba de difusión con la campana. c) define si la bomba mecánica actúa sobre la campana (derecha) o sobre la bomba de difusón (izquierda). Proceso: 1. Hacer vacío sobre la campana. a cerrada b derecha c derecha Figura 1. Sistema evaporador y sus componentes principales Campana o cámara Bomba mecánica Bomba de difusión a c b Reostat i/o bombas mecánica y de difusión
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En el presente manual se dan una serie de instrucciones para hacer una deposición de pelícuas delgadas a partir del método de evaporación
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Instructivo para deposición de Películas delgadas utilizando el Sistema Evaporador del laboratorio de Películas delgadas.
2 bombas: Rotatoria: ~10-2torr Difusión: ~10-5 torr
3 válvulas:
a) comunica la campana con el exterior. b) comunica la bomba de difusión con la campana. c) define si la bomba mecánica actúa sobre la campana (derecha) o sobre la bomba de difusón
(izquierda).
Proceso:
1. Hacer vacío sobre la campana.a cerradab derechac derecha
2. Prender sensor. Al pasar el 10-1 ya existe pre-vacío sobre la campana.3. Hacer pre-vacío a la bomba de difusión moviendo c a la izquierda.4. Accionar sistema de enfriamiento.5. Regresar c a la cámara (derecha).
Figura 1. Sistema evaporador y sus componentes principales
Campana o cámara
Bomba mecánica
Bomba de difusión
a
c
b
Reostato
i/o bombas mecánica y de difusión
6. Encender la bomba de difusión.Esperar cerca de 10 min a que se evapore el aceite. Al tacto se debe sentir caliente la base de la bomba de difusión.En este momento la bomba mecánica está actuando en la campana.
7. Mover el pre-vacío a la bomba de difusión, c a la izquierda para hacer vacío sobre la de difusión.Se pierde un poco el pre-vacío y se comienza a hacer pre-vacío en la bomba de difusión. Esperar 10 min.
8. Hacer vacío de difusión en la cámara, para lo cual hay que mover b lentamente a la izquierda. El vacío se pierde un poco. Esperar ~30 min a que el vacío sea de 10-5 - 10-6 Torr.
9. Evaporar:a. Asegurarse de que el reóstato marque “off” y se encuentre en cero.b. Conectar la clavija de uso rudo.c. Conectar el reóstato a la corriente.d. Encender.e. Subir voltaje lentamente.f. Apagar y desconectar.
10. Aquí se puede apagar el sistema o reiniciar el ciclo10.a Para apagar:
Se cierra b (izquierda) y se abre a.Retirar vidrio y muestra.Colocar vidrio.Cerrar a.Se hace pre-vacío a la bomba de difusión (c a la izquierda).Se apaga la bomba de difusiónEsperar 2 hrs (a que se enfríe la bomba de difusón).Mover c a la derecha.Apagar bomba mecánica.Cerrar agua.
10.b Para hacer otro ciclo:Cerrar b (izquierda) y abrir a.Retirar vidrio y hacer los cambios necesarios.Colocar vidrio.Cerrar a, i.e. cerrar acceso de aire.c a la derecha para hacer pre-vacío.c a la izquierda para que la bomba mecánica actúe sobre la de difusión, esperar a que se estabilice (5 min).Abrir lentamente b, esperar 10-15 min.
11. Repetir 10.b o pasar a 10.a.
Figura 2. Gráfica de presión vs. diversas variables.
